ID
Resolusi detektor
Resolusi tipikal untuk detektor Si(Li) sekitar 140 eV untuk energi 5,9 keV hanyalah salah satu indikator kualitas detektor semikonduktor. Karakteristik seperti laju hitungan maksimum atau keberadaan latar belakang mungkin lebih penting dalam metode analitis.
Detektor Si PIN memiliki resolusi dalam kisaran 165 – 220 eV. Sementara untuk detektor SDD, FWHM < 150 eV. Perlu dicatat bahwa resolusi detektor sangat bergantung pada pengaturan prosesor pulsa detektor yang sesuai.
Gambar 1. Spektrum seri K Mn yang diperoleh dengan detektor Si(Li).
Resolusi tipikal untuk detektor Si(Li) dapat lebih baik dari 140 eV untuk energi 5,9 keV. Namun, ini hanya salah satu indikator kualitas detektor semikonduktor, laju hitungan maksimum, atau keberadaan latar belakang - aspek-aspek ini dapat menjadi lebih penting dalam metode analitis. Detektor Si PIN berpendingin Peltier memiliki resolusi dalam kisaran 165 - 220 eV. Sementara untuk detektor SDD FWHM < 150 eV. Perlu dicatat bahwa resolusi detektor sebagian besar bergantung pada pengaturan prosesor pulsa detektor yang tepat.
Dengan mengabaikan lebar alami garis spektrum sinar-X, resolusi energi detektor semikonduktor merupakan fungsi dari dua faktor yang independen. Salah satu faktor tersebut adalah sifat desain detektor itu sendiri, sedangkan faktor lainnya bergantung pada sistem pemrosesan pulsa yang digunakan dalam spektrometer.
FWHM yang diukur untuk garis sinar-X adalah akar kuadrat dari jumlah kontribusi detektor dan kontribusi yang terkait dengan sistem pemrosesan pulsa listrik:
Komponen detektor ditentukan oleh statistik proses pembentukan muatan dalam volume dioda. Jumlah rata-rata pasangan elektron-lubang yang dihasilkan oleh foton insiden dapat dihitung sebagai total energi foton dibagi dengan energi rata-rata yang dibutuhkan untuk membentuk satu pasangan elektron-lubang. Jika fluktuasi dalam proses ini diatur oleh statistik Poisson, deviasi standar dapat dihitung sebagai
Dalam perangkat semikonduktor, rincian proses kehilangan energi sedemikian rupa sehingga kejadian-kejadian individual tidak sepenuhnya independen dan menyimpang dari statistik Poisson. Penyimpangan dari statistik ini dapat dijelaskan oleh faktor Fano.
Memukau:
kita mendapatkan:
di mana ε adalah energi rata-rata yang dibutuhkan untuk membentuk pasangan elektron-lubang bebas, E adalah energi foton insiden, F adalah faktor Fano, dan faktor 2,35 memperhitungkan deviasi standar FWHM dari statistik Poisson. Nilai karakteristik kontribusi detektor terhadap resolusi spektrometer, yang biasanya disebut dispersi, adalah ~ 120.
Sebagai perbandingan, nilai berbagai karakteristik detektor diberikan dalam tabel:
